锡银电镀液_电镀液及其添加剂_解决方案_yl23455永利微电子科技(上海)股份有限公司

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化学机械抛光液全品类产物矩阵

化学机械抛光是集成电路芯片制造历程中实现晶圆全局匀称平展化的关jian工艺,化学机械抛光液是化学机械抛光工艺历程中使用的主要化学质料。凭证抛光工具差异,公司化学机械抛光液包罗铜及铜阻挡层抛光液、介电质料抛光液、钨抛光液、基于氧化铈磨料的抛光液、衬底抛光液和用于新质料新工艺的抛光液等产物。现在公司铜及铜阻挡层系列化学机械抛光液,可以知足海内芯片制造商的需求,并已在外洋市chang实现突破;其他系列化学机械抛光液已供应海内外多家芯片制造商,详细生产规模会凭证客户需求量举行调治。

铜及铜阻挡层化学机械抛光液
用于集成电路制造工艺中铜互连的平展化,产物已在逻辑芯片、存储芯片等制程上量产使用。一连研发并验证用于下一代手艺节点用的产物。
钨化学机械抛光液
用于集成电路制造工艺中金属钨的去除清静坦化。现在钨抛光液在存储芯片和逻辑芯片领域的应用规模和市chang份额一连稳健上升,公司紧跟行业领先客户的先进制程,提前举行手艺平台的结构及手艺能力的积累, 多款钨抛光液在先进制程通过验证并顺遂实现量产。
介电质料化学机械抛光液
用于集成电路制造工艺中介电质料如二氧化硅、氮化硅等的去除清静坦化。产物已在逻辑芯片、存储芯片等制程上量产使用。
基于二氧化铈磨料的抛光液
用于集成电路制造工艺中浅槽隔离和其他需要高速去除二氧化硅的抛光工艺中。基于二氧化铈磨料的抛光液具有高速去除二氧化硅、高选择比、高平展化效率等优点,而且可以凭证客户需要开发多种新产物并顺遂实现量产。
衬底化学机械抛光液
用于硅衬底质料的抛光,包罗硅粗抛液、硅精抛液等产物系列。yl23455永利紧跟海内大硅片企业的生长和打造质料自主可控能力的趋势,充实相识客户的需求后定制化开发抛光液产物,公司研发的新型硅抛光液在客户端顺遂上线。
用于新质料新工艺的化学机械抛光液
依托化学机械抛光液手艺及产物平台,细密配合客户制程需求,研制开发用于新手艺、新工艺的化学机械抛光液。包罗用于先进封装手艺中的TSV通孔抛光液和混淆jian合抛光液,以及适用于聚合物和碳等新质料的抛光液。多个产物已实现量产供应。
功效性湿电子化学品领先手艺节点多产物线结构

功效性湿电子化学品是指通过配方手艺到达特殊功效、知足制造中特殊工艺需求的配方类湿电子化学品。现在,公司功效性湿电子化学品主要包罗刻蚀后洗濯液、光刻胶剥离液、抛光后洗濯液和刻蚀液系列产物。刻蚀后洗濯液、光刻胶剥离液、抛光后洗濯液已经普遍应用于8英寸、12英寸晶圆的集成电路制造领域。

刻蚀后洗濯液
铝刻蚀后洗濯液
产物应用于集成电路铝制程工艺金属线、通孔及金属焊盘(pad)蚀刻残留物去除,提供优异的蚀刻残留物去除能力、低成本。产物已在8英寸及12英寸逻辑芯片、存储芯片等领域量产。
铜刻蚀后洗濯液
应用于集成电路铜互连大马士革工艺蚀刻残留物去除。产物具有优异的蚀刻残留物去除能力、低缺陷、低成本。产物已经在逻辑芯片多个制程手艺节点、3D NAND、DRAM等存储芯片、CIS等特色工艺及2.5D/3D工艺量产。
TiN硬掩模刻蚀后洗濯液
用于集成电路28nm及以下先进工艺大马士革工艺,提供TiN 硬掩模去除及刻蚀后聚合物洗濯方案,产物已经批量量产。
刻蚀液
选择性刻蚀液
用于特殊工艺需求,提供SiGe/Si/SiN/Poly等差异质料的选择性刻蚀方案。
CMP后洗濯液
铜化学机械抛光后洗濯
提供酸性、碱性铜抛光后洗濯液系统,用于差异手艺节点铜抛光后洗濯,有用去除抛光后残留物并掩护铜。产物普遍应用于90~40nm成熟手艺节点、28nm及以下先进手艺节点,提供优异铜抛光后洗濯及基材掩护手艺方案。
光刻胶剥离液
光刻胶剥离液
应用于晶圆级封装、MEMS等先进封装领域厚膜光刻胶去除。产物具有>100微米光刻胶去除能力、低成本。产物在8英寸及12英寸晶圆级封装(金凸点、焊锡凸点、柱状凸点)、MEMS、TSV等工艺量产。
固化后聚酰亚胺(PI)去除
应用于先进封装工艺,提供HD4100,HD8820,BL301聚酰亚胺固化后洗濯方案,产物已经批量量产。
助焊剂去除
用于先进封装工艺,提供锡银凸块回流后助焊剂洗濯方案,产物已经批量量产。
电镀液及其添加剂强化及提升电镀高端产物系列战略供应

电镀是将电解液中的金属离子通过电化学的方式沉积在阴极外貌的工艺, 电镀液是电镀工艺中关jian质料。现在,公司拥有铜、镍、镍铁、锡银电镀液系列产物,提供集成电路制造、硅通孔及先进封装凸点、再漫衍线工艺等解决方案。应用在6英寸、8英寸、12英寸工艺。

铜电镀液及添加剂
用于集成电路大马士革工艺、硅通孔、先进封装凸点及再漫衍线等工艺,提供高纯铜电镀方案。产物在先进封装已经批量量产,集成电路大马士革工艺及硅通孔工艺验证中。
镍电镀液
用于先进封装凸点等工艺,起到异种金属间的阻断作用。产物批量量产,提供高纯、可延展性、低应力解决方案。
镍铁电镀液
用于先进封装、MEMS霍尔器件等手艺,产物已经实现量产。
锡银电镀液
用于先进封装凸点工艺等,提供低速及高速电镀方案。
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